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安晟1600℃三溫區(qū)管式高溫爐三個數(shù)字溫度控制器可獨立控制溫度,并可設(shè)置30段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用硅鉬棒加熱,另外兩個溫區(qū)用硅碳棒進行加熱,此款管式爐可以形成一個溫度梯度,調(diào)整三個溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體的表面溫度小于60度,爐膛的保溫材料采用高純氧化鋁,環(huán)保節(jié)能,可以減少熱量的損失,內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。
安晟1600℃三溫區(qū)管式高溫爐三溫區(qū)真空氣氛管式爐主要應(yīng)用于高等院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e(CVD)工藝等。
工作溫度 | 1600℃ |
最高溫度 | 1700℃(可選擇) |
加熱區(qū) | 總溫區(qū)長度630 mm 溫區(qū)1:190 mm由硅碳棒加熱,工作溫度800 - 1400°C 溫區(qū) 2:250 mm 由硅鉬棒MoSi2 進行加熱,工作溫度 800 - 1600°C 溫區(qū)3:190 mm 由硅碳棒SiC進行加熱,工作溫度800 - 1400°C |
真空密封系統(tǒng) | 儀器標(biāo)配中有一套不銹鋼真空密封法蘭,出氣和進氣端都安裝有不銹鋼截止閥,真空度:10-2 torr (用機械泵 );10-5 torr(用分子泵 ) |
爐管尺寸 | Φ60*1200mm(更多規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制) |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護 | 具有超溫及斷偶報警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 硅鉬棒,硅碳棒 |
鄭州安晟科學(xué)儀器有限公司
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