真空爐品種多，對真空系統(tǒng)的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。下面介紹幾種常用的真空系統(tǒng)。

•       低真空系統(tǒng)

      它適用于真空度在1333～2Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉(zhuǎn)機械泵為主泵的系統(tǒng)。

•       中真空系統(tǒng)

      它適用于真空度在1.333～3×10Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應用廣泛，其通常有兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。

•     高真空系統(tǒng)

      它適用于真空度在1.333×1O～6。6×10Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其通常有三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉(zhuǎn)機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
      真空系統(tǒng)的基本參數(shù)
      真空熱處理爐的真空系統(tǒng)主要參數(shù)有極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率（壓升率）。
      極限真空度真空爐在空爐、冷態(tài)下所能達到的高真空度稱為極限真空度。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質(zhì)量、真空機組的抽氣能力與極限真空、爐體的密封與漏氣和真空衛(wèi)生情況的重要指標。通常，真空爐的極限真空度應低于主泵一個數(shù)量級左右。
真空爐的維修
     真空氣氛爐加熱功率的復校隨著爐子使用時間的延長，隔熱屏的熱阻變小，電熱元件揮發(fā)而電阻變大等因素的影響，應適當增加功率。在生產(chǎn)實際工作中，一般用經(jīng)驗計 算法確定功率，圖4—15所示為石墨氈或耐火纖維氈隔熱屏真空爐的容積與加熱功率的關(guān)系曲線圖。按該圖可以確定1300。C的真空爐加熱功率。若為金屬隔 熱屏的真空爐，則查得的加熱功率需增加30％左右。
    隔熱屏的維修隔熱屏在真空爐中起隔熱、保溫作用，有時也作為固定加熱器的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)。隔熱屏結(jié)構(gòu)一般有四種類型：全金屬隔熱屏、夾層式隔熱屏、石墨氈隔熱屏和混合氈隔熱屏。不同的隔熱屏，在維修時應掌握其要點。
    全金屬隔熱屏一般在靠近電熱元件的1—2層選用鉬、鎢材料，外面幾層可用不銹鋼材料，厚度應盡量薄些（中、小型爐一般為o．2。0．5mm。大型爐為 o．5～1．Omm）；隔熱屏在裝配前需將表面加工成為光潔狀態(tài)，以降低黑度，增強反射效果。1300。C爐子的隔熱屏層數(shù)一般為5～6層，層間距離為 5～10mm。幾層輻射板連接的接觸面積不宜太大，以減少熱短路。隔熱屏應有脹縮量，并做成可拆式的，便于下次維修。